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產品介紹
雅馬拓YSP63FA等離子清洗機產品特點：
可進行樣品傳輸系統定制。
操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
軟性基板也可以進行傳送操作。
傳送速度可在Hi-Low間調節。
可通過網絡進行遠程操作（選購品）。
提高各種材料的粘接性、表面改質處理
清洗各類基板。
電子部品、材料表面改質。
更容易嵌入生產線使用。
可通過操作面板自由切換等離子模式。
雅馬拓YSP63FA等離子清洗機產品參數：
型號 | YSP63FA |
模式 | RIE（DP模式選購） |
高頻輸功率 | 600W |
反應臺尺寸 | W385×D362mm |
內腔尺寸 | W395×D378×H45mm（內尺寸） |
反應氣體 | 2進氣系統（氧氣、氬氣） |
反應氣體流量控制 | 質量流量控制器 |
真空泵 | 旋轉式真空泵（約500L/min） |
氣體導入口 | 反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個 |
外形尺寸 | W1860×D1100×H1800mm |
其它同類產品如下：
雅馬拓YSP600U等離子清洗儀器：
產品特點：
樣品傳輸系統為模塊式，便于組合。
體積小，節省空間。
選用小型腔體，反應效率高。
更容易嵌入生產線使用。
可通過操作面板自由切換等離子模式。
配備冷卻反應臺。
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技術參數：
型號 | YSP600U | YSP2KU |
模式 | RIE（DP模式選購） | |
高頻輸功率 | 600W | 2000W |
反應臺尺寸 | W300×D300mm | W600×D600mm |
反應氣體 | 2進氣系統（氧氣、氬氣） | |
反應氣體流量控制 | 質量流量控制器 | |
氣體導入口 | 反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個 | |
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